鳥羽 孝幸 | 東京大学 大学院工学系研究科 電気工学
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概要
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著作論文
- マイクロ波励起円形表面波プロセスプラズマ装置の放電特性に関する3次元数値解析
- 誘電体窓を多数有する縦長表面波プラズマ装置におけるプラズマ密度分布空間制御に関する研究
- 平板型表面波プラズマ装置の電子密度均一性向上に関する研究
- 27pA34P 平板型表面波プラズマ装置の大型化に関する数値解析(プラズマ基礎・応用)
- 平板型表面波プラズマ装置の大型化に関する数値解析
- 平板型表面派プラズマ装置内の電子密度に関する実験及び数値解析
- 平板型表面波プロセスプラズマ装置における数値シミュレーションに関する研究