プラズマRIEによるLiNbO_3結晶の加工表面評価

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概要

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• 2000-12-02

著者

• 吉門 進三

  同志社大学工学部

• 吉門 進三

  同志社大学理工学部

• 田村 剛士

  同志社大学

• 西村 崇司

  同志社大学

• 西村 崇司

  同志社大

• 吉門 進三

  同志社大学 理工学部

• 吉門 進三

  同志社大学

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