フッ素系ガスプラズマRIEを用いたLiNbO_3結晶のマスク非使用による表面加工
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概要
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- 2005-10-27
著者
-
吉門 進三
同志社大学工学部
-
吉門 進三
同志社大学工学部電気工学教室
-
吉門 進三
同志社大学理工学部
-
小俣 輝明
同志社大学工学部電子工学科
-
藤井 隆裕
同志社大学
-
吉門 進三
同志社大学大学院工学研究科
-
吉門 進三
同志社大学 理工学部
-
吉門 進三
同志社大学
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