イオン注入法によるチタン薄膜の窒化機構
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概要
著者
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山本 春也
独立行政法人日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
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吉川 正人
日本原子力研究所
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吉川 正人
独立行政法人日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
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山村 力
東北大学大学院工学研究科金属工学
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粕壁 善隆
東北大学国際交流センター
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王 建軍
東北大学大学院工学研究科
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藤野 豐
東北大学国際交流センター
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山本 春也
日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門(高崎)
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山村 力
東北大
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山村 力
東北大・工学部
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粕壁 善隆
Department Of Quantum Science And Energy Engineering Tohoku University
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山村 力
東北大学大学院工学研究科
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