ソース・ドレイン領域にチタンシリサイドを用いた金属ゲートショットキー障壁SOI-MOSFET
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概要
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- 1999-12-09
著者
-
藤島 実
東京大学新領域創成科学研究科:東京大学工学系研究科
-
田辺 亮
東京大学
-
松浦 研
東京大学
-
福岡 哲也
東京大学
-
松浦 研
東京大学工学系研究科
-
福岡 哲也
東京大学工学系研究科
-
田辺 亮
東京大学工学系研究科
-
鳳 紘一郎
東京大学新領域創成科学研究科
-
藤島 実
東京大学新領域創成科学研究科
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