フェムト秒ダブルパルスレーザ照射による表面周期構造の形成
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概要
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Periodic surface structures formed by femtosecond laser (τ=120fs, λ=800nm, Repetition=1kHz) irradiation improve surface properties of solid materials significantly. This does not necessarily means, however, that microscopic uniformity of individual structures is high. In our experiment, it was found that double-pulsed irradiation of femtosecond laser (pulse separation time ⊿τ=50〜100ps) can control periodicity, linearity and surface roughness of periodic structures precisely.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2005-07-05
著者
-
黒澤 宏
宮崎大学
-
黒澤 宏
宮崎大学工学部電気電子工学科
-
沢田 博司
キヤノンマシナリー(株)研究開発センター
-
二宮 孝文
キヤノンマシナリー(株)研究開発センター
-
川原 公介
キヤノンマシナリー(株)研究開発センター
-
二宮 孝文
Necマシナリー
-
沢田 博司
NECマシナリー(株)研究開発センター
-
川原 公介
NECマシナリー(株)研究開発センター
-
黒澤 宏
宮崎大学工学部
-
沢田 博司
Necマシナリー
-
川原 公介
Necマシナリー
-
黒澤 宏
分子研
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