極低エネルギー注入ボロンの熱処理時におけるドーズロス現象
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The dose loss of ultralow-energy implanted boron in silicon has been investigated. The uphill diffusion was closely correlated with dose loss of implanted boron during early annealing. The evolution of dose loss can be classified into three categories depending on the implant dose. The activation energy for the release of boron atoms from the Si/SiO2 interface was found to be 2.6 eV.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-04-01
著者
-
谷口 研二
大阪大学大学院工学研究科
-
谷口 研二
大阪大学大学院工学研究科電子情報エネルギー工学専攻
-
辻 博史
大阪大学大学院工学研究科
-
辻 博史
大阪大学大学院工学研究科:crest-jst
-
古橋 壮之
大阪大学大学院工学研究科電子情報エネルギー工学専攻
-
舘 真透
大阪大学大学院工学研究科電子情報エネルギー工学専攻
関連論文
- ワイドバンドテレビチューナIC用イメージ除去フィルタの設計(集積エレクトロニクス)
- CMOSインバータ積分器を用いた0.5Vフィードフォワード型デルタ・シグマ変調器(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- CMOSインバータ積分器を用いた0.5Vフィードフォワード型デルタ・シグマ変調器
- CMOSインバータ積分器を用いた0.5Vフィードフォワード型デルタ・シグマ変調器(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 超低電圧動作ディジタルCMOS回路の特性補償に関する検討
- 遺伝的アルゴリズムを適用したFuzzy ARTによる2リンクロボットアームの行動獲得の効率化
- 10次チャネル・フィルタを搭載した低消費電力Zero-IFフル・セグメントISDB-T CMOSチューナの開発(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 10次チャネル・フィルタを搭載した低消費電力 Zero-IF フル・セグメントISDB-T CMOSチューナの開発
- 周囲光電荷消去型距離画像CCD
- C-12-62 LNA不要な低消費電力TVチューナIC用RFフロントエンドの設計(C-12.集積回路,一般セッション)
- 強化学習における状態数を抑制するクラスタリング方法
- 集積回路設計を目指す学生・若手技術者に望むこと(学生・若手研究会)
- C-12-53 0.5V動作バイアス制御CMOS型VCO(C-12.集積回路,一般セッション)
- C-12-43 トランスを用いた雑音除去UWB差動CMOS LNA(C-12.集積回路,一般セッション)
- 広い入力ビットレート範囲をもつクロックリカバリ回路(電子回路)
- A-1-39 雑音統計を用いた微弱信号検出の通信への応用(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- C-12-65 トランスを用いた低電圧フォールデッド型CMOS LNA(C-12. 集積回路C(増幅回路),一般セッション)
- C-12-11 FFTを用いたフルディジタルCDR回路(C-12. 集積回路BC(クロック・発振器),一般セッション)
- 雑音統計を用いた微弱信号検出の通信への応用 (第21回 回路とシステム軽井沢ワークショップ論文集) -- (センサ)
- 生体センシング用途向け超低消費電力△Σモジュレータ(電子回路)
- テレビ受信システム用ワイドバンドチューニングVCOの設計(集積エレクトロニクス)
- TV受信システム用ワイドバンドチューニングVCOの設計(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
- TV受信システム用ワイドバンドチューニングVCOの設計
- TDCを用いたオーディオ用ADコンバータの設計検討
- 0.5Vボディ入力コンパレータの特性補償に関する検討
- MOSFETのマッチング特性の高精度評価のためのテスト回路(集積エレクトロニクス)
- MOSFETマッチング特性の統計的評価とモデル化の検討(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 短距離無線通信用電圧制御CMOS移相発振回路に関する研究
- C-12-1 MOSFETに特性の変動の統計的測定のための回路
- 短距離無線通信用CMOS発振回路に関する研究
- 多値化CDMA有線通信インターフェースの提案
- CMOSプロセスを用いたプレディストータの検討
- 自己発熱効果がナノスケールトランジスタの電気特性に与える影響(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 強化学習による超音波アレーセンサの指向性設計 (超音波)
- ASK/CDMA方式を用いた近距離無線通信のためのCMOS復調回路(回路技術(一般、超高速・低電力・高機能を目指した新アーキテクチャ))
- カレントソースを共有化したCMOS Quadrature-coupled LC-VCOの解析
- 2周波対応GPS受信機フロントエンドチップの研究
- 2周波対応GPS受信機フロントエンドチップの研究(アナログ・ディジアナ・センサ,通信用LSI)
- 空間的または時間的に一様でない系におけるトンネリングのシミュレーション(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 量子格子気体法によるデバイス内部の電子波伝搬解析(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 非線形パルス幅変調を用いたTDC-ADCの構成と歪み補正手法の提案
- TDCを用いたADコンバータのDLLばらつきによる歪みの解析
- 二重フィードバックを用いスピーカインピーダンスの影響を低減したオーディオ用D級アンプの設計/評価
- 表面ポテンシャルを用いた薄膜トランジスタのドレイン電流モデル(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- オーディオ用D級アンプのループフィルタの安定性の解析
- 逐次比較型ADコンバータに用いる single to differential 機能を付加した電荷再分配型DAコンバータ
- ひずみSi-p型電界効果トランジスタのホール伝導特性に関する理論計算
- C-9-3 SoG液晶モジュール用アナログバッファ回路に関する研究(C-9. 電子ディスプレイ,一般セッション)
- Poly-Si TFTにおける容量 : 電圧特性のシミュレーションによる解析(シリコン関連材料の作製と評価)
- 65nmノード歪みpMOSFETのホール伝導における全応力の効果の検証(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 周期的な不純物原子配列を有する半導体の電気伝導シミュレーション(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 数値シミュレーションに基づく10nmチャネル素子の電気伝導機構に関する考察(半導体Si及び関連材料・評価)
- ひずみSi pMOSFETsにおける移動度増大率の計算 : 1軸と2軸応力の比較について(Group IV Compound Semiconductors, 先端デバイスの基礎と応用に関するアジアワークショップ(AWAD2005))
- 15nm以上の膜厚を有するシリコン酸化膜の絶縁破壊統計性(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)
- 分子動力学/アンサンブルモンテカルロ法による極微細n-i-nダイオードの電流解析(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- FD-SOI MOSデバイスのRFモデリングに関する検討(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- A-Dコンバータ用フローティング参照電圧生成回路
- PLL出力における50%デューティ補償回路
- C-12-50 電源雑音に起因するジッタの見積もりとその低減法
- C-12-45 2型3次チャージポンプPLLのループゲイン最適化
- MOS電流モードロジックを用いた拡散符号生成器
- CMOS Rail-to-Railオペアンプ
- 高精度BiCMOSコンパレータの設計考察
- CDMA方式を用いた有線通信インタフェース
- SA-2-12 CDMA方式を用いたチップ間有線インターフェース
- ワイドバンドテレビチューナIC用イメージ除去フィルタの設計
- 強化学習を用いた超音波アレーセンサの指向性の最適設計法
- P-36 大阪大学における社会人専門教育プログラム : エレクトロニクス産業を支える高度専門技術者の育成((25)高度専門技術者教育、社会人のための大学院工学教育,ポスター発表論文)
- 大阪地区におけるLSI設計教育の取り組み
- 酸化膜絶縁破壊がMOSFETチャネル電流に与える影響(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- ボロンの過渡拡散におけるバックグラウンド炭素濃度依存性
- 低エネルギー注入ボロンの低温熱処理時におけるキンク濃度の解析
- Siイオン注入ダメージによるAsの過渡増速拡散
- 格子間シリコン原子拡散のバックグラウンド炭素濃度依存性
- Asイオン注入に起因するSi結晶中でのAs過渡増速拡散とB再分布
- PN符号パルス圧縮とビームフォーミング技術を用いた超音波立体視センサ(超音波)
- A-11-9 超音波立体視センサの開発(A-11.超音波,一般講演)
- 高抵抗SOI基板上におけるスパイラル・インダクタの寄生抵抗のモデリング
- C-12-44 ダブルチューニング低電圧SOI-CMOS LC電圧制御発振器
- LNA不要な低消費電力TVチューナIC用RFフロントエンドの設計
- ケルビン法を用いたガスセンサ・アレイ用読み出し回路の設計
- C-12-24 無線通信用CMOSアナログ集積回路の低電圧化技術の開発(C-12.集積回路C(アナログ),一般講演)
- 1V電源動作・低フリッカノイズCMOSフィルタ
- 広帯域VCOを用いたCDRの検討(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)
- 帯域可変G_m-Cフィルタのチューニング技術に関する検討
- 連続時間型Δ〓モジュレータのための低電源電圧動作可能なアンプの提案
- 連続時間型Δ〓モジュレータのための小面積時定数チューニング機構に関する研究
- C-12-13 VCO制御電圧修正回路を用いたCDR回路の検討(C-12.集積回路B(ディジタル),一般講演)
- TV受信システム用ワイドバンドチューニングVCOの設計(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
- 1V電源動作・低フリッカノイズCMOSフィルタ(システムLSIの応用と要素技術,専用プロセッサ,プロセッサ,DSP,画像処理技術,及び一般)
- 1V電源動作・低フリッカノイズCMOSフィルタ(システムLSIの応用と要素技術,専用プロセッサ,プロセッサ,DSP,画像処理技術,及び一般)
- 1V電源動作・低フリッカノイズCMOSフィルタ(システムLSIの応用と要素技術,専用プロセッサ,プロセッサ,DSP,画像処理技術,及び一般)
- 1V電源動作・低フリッカノイズCMOSフィルタ(システムLSIの応用と要素技術,専用プロセッサ,プロセッサ,DSP,画像処理技術,及び一般)
- Adaptive Bias回路を用いたスイッチトキャパシタ回路用省電力演算増幅器(アナログ回路技術ショートノート-アナログ回路技術の創造と伝承を目指して-)
- アクティブRC積分器のフィードフォワード充電法(アナログ回路技術ショートノート-アナログ回路技術の創造と伝承を目指して-)
- C-12-24 可変バイアス回路を用いた擬似差動LNAの検討(C-12.集積回路C(アナログ),一般講演)
- C-12-10 Adaptive Biasingを用いた低電源電圧・省電力オペアンプ(C-12.集積回路C(アナログ),一般講演)
- FD-SOI CMOSデバイスを用いた低電圧動作低雑音増幅器の設計
- アクティブRC積分器の解析とフィードフォワード充電法の提案
- 雑音と線形性を考慮したCMOS低雑音増幅器の設計手法に関する検討