Operation at 700℃ of 6H-SiC UV Sensor Fabricated Using N^+ Implantation
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概要
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- Japan Society of Applied Physicsの論文
- 2004-01-15
著者
-
上田 裕清
神戸大学 大学院工学研究応用化学専攻
-
Toda Tadao
Materials And Devices Development Center Business Unit Sanyo Electric Co. Ltd.
-
Sawada Minoru
Central Research Laboratories Zeria Pharmaceutical Co. Ltd.
-
Hata Masayuki
Materials And Devices Development Center Business Unit Sanyo Electric Co. Ltd.
-
Shono Masayuki
Materials And Devices Development Center Business Unit Sanyo Electric Co. Ltd.
-
Nomura Yasuhiko
Materials And Devices Development Center Business Unit Sanyo Electric Co. Ltd.
-
UEDA Yasuhiro
Materials and Devices Development Center Business Unit, Sanyo Electric Co., Ltd.
-
SAWADA Minoru
Materials and Devices Development Center Business Unit, Sanyo Electric Co., Ltd.
-
Sawada Minoru
Materials And Devices Development Center Business Unit Sanyo Electric Co. Ltd.
-
Ueda Yasuhiro
Materials And Devices Development Center Business Unit Sanyo Electric Co. Ltd.
-
Shono Masayuki
Materials & Devices Development Center BU, SANYO Electric Co., Ltd., 1-18-13 Hashiridani, Hirakata, Osaka 573-8534, Japan
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