イオン照射したポリイミドフィルムとCuスパッタ膜の密着性
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概要
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- 1993-03-20
著者
-
佐藤 淳一
日立電線(株)システムマテリアル研究所アドバンスリサーチセンタ
-
米本 隆治
日立電線(株)システム・マテリアル研究所
-
根本 浩之
日立電線(株)電子部品技術部
-
御田 護
日立電線(株)電子部品技術部
-
御田 護
日立電線(株)
-
佐藤 淳一
日立電線(株)アドバンスリサーチセンタ
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