アークイオンプレーティング法を用いたTiN被膜の耐食性向上 - ピンホール欠陥の酸化処理による封孔 -
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概要
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- 2001-03-20
著者
-
三浦 健一
大阪府産技研
-
星野 英光
大阪府立産業技術総合研究所
-
石神 逸男
大阪府立産業技術総合研究所
-
三浦 健一
大阪府立産業技術総合研究所
-
水越 朋之
大阪府立産業技術総合研究所
-
三浦 健一
(地独)大阪府立産業技術総合研究所
-
水越 朋之
(独)大阪府立産業技術総合研究所
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