HCD方式反応性イオンプレーティング法により形成したチタン窒化物皮膜の化学組成と硬さに及ぼす成膜条件の影響
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概要
著者
-
三浦 健一
大阪府産技研
-
石神 逸男
大阪府立産業技術総合研究所
-
三浦 健一
大阪府立産業技術総合研究所
-
水越 朋之
大阪府立産業技術総合研究所
-
三浦 健一
(地独)大阪府立産業技術総合研究所
-
水越 朋之
(独)大阪府立産業技術総合研究所
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