UBMスパッタ法により形成したDLD膜の残留応力に及ぼす被覆条件の影響

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概要

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• 日本材料学会の論文

著者

• 松岡 敬

  同志社大学

• 松岡 敬

  同志社大学機械システム工学科

• 三浦 健一

  大阪府産技研

• 三浦 健一

  大阪府立産業技術総合研究所

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