超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータにおける微小振れに関する検討
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概要
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超精密位置決め用の空気圧サーボ弁と静圧軸受から成る新しいアクチュエータ'空気圧サーボ軸受アクチュエータ'を提案している。このアクチュエータは空気圧サーボ弁によって給気圧力を制御することによって、超精密位置決めを実現することが可能である。しかしながら、一般的に静圧軸受は減衰能が小さい為に支持物体が微小に振動するという報告がなされている。そこで、提案しているアクチュエータの高信頼性を実現する為に軸受の微小振れを低減する必要がある。本研究では静圧軸受における微小振れの主な要因の検討と、その微小振れを低減させる軸受形状・作動条件を提案した。結果から、微小振れの大きさを明確にし、多連構造にすることでさらに微小振れを低減できることを示した。
- 同志社大学の論文
著者
-
松岡 敬
同志社大学
-
松岡 敬
同志社大学機械システム工学科
-
矢部 寛
京都大学大学院工学研究科
-
矢部 寛
元京都大学
-
北川 貴一
Department of Mechanical Engineering, Doshisha University
-
平山 朋子
Department of Mechanical Engineering, Doshisha University
-
松岡 敬
Department of Mechanical Engineering, Doshisha University
-
角谷 雅人
Department of Mechanical Engineering, Doshisha University
-
檀上 弥輝
Department of Mechanical Engineering, Doshisha University
-
佐々木 勝美
Pneumatic Servo Controls, Ltd.
-
矢部 寛
Department of Mechanical Engineering, Osaka Electro-Communication University
-
平山 朋子
同志社大学
-
北川 貴一
Department Of Mechanical Engineering Doshisha University
-
佐々木 勝美
ピー・エス・シー(株)
-
角谷 雅人
同志社大院
-
檀上 弥輝
同志社大院
-
角谷 雅人
Department Of Mechanical Engineering Doshisha University
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