EPMA,XPSおよびSIMSによるTiN皮膜中の酸素の定量精度
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概要
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- 日本熱処理技術協会の論文
- 1995-12-28
著者
-
佐藤 幸弘
大阪府立産業技術総合研究所
-
三浦 健一
大阪府産技研
-
石神 逸男
大阪府立産業技術総合研究所
-
三浦 健一
大阪府立産業技術総合研究所
-
久野 正人
大阪府立産業技術総合研究所
-
三浦 健一
(地独)大阪府立産業技術総合研究所
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