HCD方式反応性イオンプレ-ティング法により形成したTiN皮膜硬さの結晶粒度依存性
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概要
著者
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三浦 健一
大阪府産技研
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石神 逸男
大阪府立産業技術総合研究所
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三浦 健一
大阪府立産業技術総合研究所
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久野 正人
大阪府立産業技術総合研究所
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金田 博之
大阪府立産業技術総合研究所
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三浦 健一
(地独)大阪府立産業技術総合研究所
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