次世代半導体用素材の高純度化

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概要

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• 1996-10-21

著者

• 三村 耕司

  東北大学多元物質科学研究所

• 一色 実

  東北大選研

• 一色 実

  東北大・素材研

• 石川 幸雄

  東北大・素材研

• 三村 耕司

  東北大・素材研

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