Si-LSIにおけるCu配線

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1995-06-10

著者

• 大野 一英

  Ntt Lsi研究所

• 粟屋 信義

  NTT LSI研究所

• 有田 睦信

  NTT LSI 研究所

• 粟屋 信義

  Nttシステムエレクトロニクス研究所

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