粟屋 信義 | Nttシステムエレクトロニクス研究所

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• 猪川 洋

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• 有田 睦信

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• 三宅 雅保

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• 佐藤 政明

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• 岡崎 幸夫

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• 小林 敏夫

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• 山本 栄一

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• 三宅 雅安

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• 粟屋 信義

  シャープ株式会社プロセス開発センター

• 小林 敏夫

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著作論文

• クォーターミクロンCMOSに適用した銅配線プロセス評価及びその電気特性への影響
• Cu 配線技術 - 化学気相成長および反応性イオンエッチング技術 -
• シリコンLSIにおける銅配線技術
• Si-LSIにおけるCu配線
• オンチップ銅配線セルフアラインパッシベーション技術
• CuCVDプロセスの現状と課題

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