オンチップ銅配線セルフアラインパッシベーション技術
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概要
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オンチップ銅配線における銅表面の耐酸化性向上のためセルフアラインパッシベーション技術を開発した.熱処理により銅表面で銅とアルミニウムを反応させ金属間化合物形成するとともに, SiO2上の未反応アルミニウムを燐酸で除去する.さらに水素酸素混合ガス中での熱処理により耐酸化性を向上させる.パッシベーションを行った銅配線の抵抗上昇は5%と低く抑えられ,プラズマCVDSiO2との密着性の向上も確認された
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-12-12
著者
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