微動機構を用いたスライダの超精密定速送り技術

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 小川 潔

  (株)東芝生産技術研究所

• 内田 憲男

  (株)東芝研究開発センター機械エネルギ研究所

• 足立 幹雄

  (株)東芝生産技術研究所

• 高須 登

  (株)東芝生産技術研究所

• 菊入 信孝

  (株)東芝 機械・エネルギ研究所

• 西田 純

  (株)東芝 機械・エネルギ研究所

• 立川 雄一

  (株)東芝 機械・エネルギ研究所

• 高須 登

  生産技術研究所

• 小川 潔

  生産技術研究所

• 足立 幹雄

  生産技術研究所

• 菊入 信孝

  (株)東芝 機械・エネルギー研究所

• 菊入 信孝

  (株)東芝

• 西田 純

  (株)東芝 機械・エネルギー研究所

• 内田 憲男

  (株)東芝 研究開発センター機械・エネルギー研究所

• 内田 憲男

  (株)東芝 機械・システムラボラトリー

関連論文

• TTLアライメントを用いたエキシマレーザ露光装置
• 摩擦駆動を応用した光ディスク原盤露光装置用テーブル送り機構の開発
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• 微動機構を用いたスライダの超精密定速送り技術
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• マスクとウエハの微小間隙設定法
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• 原盤露光装置の精密機構(光ディスク)

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