小川 潔 | (株)東芝生産技術研究所

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概要

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• 小川 潔

  (株)東芝生産技術研究所

• 上田 勝宣

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• 佐久田 茂

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• 上田 勝宣

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• 足立 幹雄

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• 高須 登

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• 中野 敏行

  (株)東芝研究開発センター

• 内田 憲男

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• 菊入 信孝

  (株)東芝 機械・エネルギ研究所

• 西田 純

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• 内田 憲男

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著作論文

• 摩擦駆動を応用した光ディスク原盤露光装置用テーブル送り機構の開発
• 超精密位置制御に関する研究(第2報) : 粗・微動間の干渉の軽減
• 微動機構を用いたスライダの超精密定速送り技術
• 精密位置制御の研究
• 超精密位置制御に関する研究 : 粗・微動の運動制御

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