西田 純 | (株)東芝 機械・エネルギ研究所

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概要

• 同名の論文著者
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関連著者

• 内田 憲男

  (株)東芝研究開発センター機械エネルギ研究所

• 菊入 信孝

  (株)東芝 機械・エネルギ研究所

• 西田 純

  (株)東芝 機械・エネルギ研究所

• 菊入 信孝

  (株)東芝 機械・エネルギー研究所

• 菊入 信孝

  (株)東芝

• 西田 純

  (株)東芝 機械・エネルギー研究所

• 内田 憲男

  (株)東芝 研究開発センター機械・エネルギー研究所

• 内田 憲男

  (株)東芝 機械・システムラボラトリー

• 小川 潔

  (株)東芝生産技術研究所

• 西坂 武士

  (株)東芝研究開発センタ機械エネルギ研究所

• 桑原 理

  (株)東芝研究開発センター機械エネルギ研究所

• 足立 幹雄

  (株)東芝生産技術研究所

• 高須 登

  (株)東芝生産技術研究所

• 立川 雄一

  (株)東芝 機械・エネルギ研究所

• 高須 登

  生産技術研究所

• 小川 潔

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• 足立 幹雄

  生産技術研究所

• 桑原 理

  (株)東芝

• 西坂 武士

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著作論文

• 微動機構を用いたスライダの超精密定速送り技術
• 光ディスク原盤記録機用スピンドルの非同期回転振れの計測
• マスクとウエハの微小間隙設定法

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