内田 憲男 | (株)東芝 研究開発センター機械・エネルギー研究所
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概要
関連著者
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内田 憲男
(株)東芝 研究開発センター機械・エネルギー研究所
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内田 憲男
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米澤 実
(株)東芝 コアテクノロジーセンター
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田畑 光雄
東芝研究開発センター
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足立 幹雄
(株)東芝生産技術研究所
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高須 登
(株)東芝生産技術研究所
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生産技術研究所
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生産技術研究所
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生産技術研究所
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東条 徹
東芝
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(株)東芝研究開発センター
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東條 徹
東京芝浦電気(株)
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(株)東芝
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米澤 実
株式会社東芝
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関村 雅之
(株)東芝
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関村 雅之
株式会社東芝 研究開発センター 機械システム研究所
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内丸 清隆
株式会社東芝 小向工場
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内田 憲男
株式会社東芝 研究開発センター 機械システム研究所
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菅谷 寿鴻
株式会社東芝 研究開発センター 情報・通信システム研究所
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笠原 章裕
株式会社東芝 研究開発センター 機械システム研究所
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内丸 清隆
株式会社東芝
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西坂 武士
(株)東芝研究開発センター機械エネルギー研究所
著作論文
- TTLアライメントを用いたエキシマレーザ露光装置
- 微動機構を用いたスライダの超精密定速送り技術
- 自重補償機構を備えた縦形の超精密XYステージ : 摩擦の影響を考慮した位置決め
- 二重回折格子による間隙変化に鈍感なマスクとウエハの位置合わせ法
- Si偏向ミラーアクチュエータの空気膜による減衰特性
- 光ヘッド用Si偏向ミラーの設計(映像情報ストレージ技術)
- 光ディスク原盤記録機用スピンドルの非同期回転振れの計測
- X線ステッパのヘリウム濃度と圧力制御
- マスクとウエハの微小間隙設定法
- 回折格子によるマスクとウエハの間隙設定法
- 原盤露光装置の精密機構(光ディスク)