関村 雅之 | (株)東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー
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概要
関連著者
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関村 雅之
(株)東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー
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関村 雅之
(株)東芝
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服部 俊介
(株)東芝 機械・エネルギー研究所
著作論文
- モバイル機器向け超小型カメラにおけるレンズ駆動静電マイクロアクチュエータ技術
- 可動子振動型マイクロアクチュエータの研究 : 第1報,ステッピング駆動によるリニアモデルの開発(機械力学,計測,自動制御)
- マイクロチャンネル熱交換技術の開発
- 界面活性剤を添加したTMAH水溶液のエッチング特性
- Si偏向ミラーアクチュエータの空気膜による減衰特性