田畑 光雄 | (株)東芝研究開発センタ機械エネルギ研究所

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• 斎藤 晋

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• 内田 憲男

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• 菊入 信孝

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著作論文

• エキシマレーザ露光装置用TTLアライメント法におけるアライメント光学系の誤差要因検討と高精度化
• エキシマレーザ露光装置用TTLアライメント法 : 倍率色収差を補正したリアルタイムアライメントSMART
• 投影露光装置用 TTL アライメント法 : 2光束入射を用いて色収差を解決した TTL アライメント
• 市松格子を用いた二重回折格子法位置合わせ(第1報) : アライメント性能評価
• 二重回折格子による間隙変化に鈍感なマスクとウエハの位置合わせ法

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