菊入 信孝 | (株)東芝 機械・エネルギー研究所
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概要
関連著者
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菊入 信孝
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著作論文
- 微動機構を用いたスライダの超精密定速送り技術
- 二重回折格子による間隙変化に鈍感なマスクとウエハの位置合わせ法
- 光ディスク原盤記録機用スピンドルの非同期回転振れの計測
- X線ステッパのヘリウム濃度と圧力制御
- マスクとウエハの微小間隙設定法
- 回折格子によるマスクとウエハの間隙設定法