超精密位置制御に関する研究 : 粗・微動の運動制御
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This work was carried out to develop a precision dual positioning apparatus, consisting of friction drive and piezoelectric actuator. In this apparatus, the piezoelectric actuator, designed for fine positioning, is mounted on top of the friction drive slide, designed for coarse positioning. Individual loops are closed by laser interferometer systems, with 2.5 nm resolution. The friction drive and piezoelectric actuator move together, using a kind of inchworm movement method, which the authors have proposed. The method makes it possible for this poitioning system to have an over 100 mm stroke with 2.5 nm resolution and no backlash. In addition, this dual positioning system, using the inchworm movement method, is also valid for assuring a tool's continuous path (CP) control, with nanometer order accuracies, in forming three-dimensional sufaces, using a precision machine (precision lathe).
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-12-05
著者
関連論文
- 非球面プラスチックレンズ金型の樹脂収縮変形補正に関する一手法
- 摩擦駆動を応用した光ディスク原盤露光装置用テーブル送り機構の開発
- 超精密位置制御に関する研究(第2報) : 粗・微動間の干渉の軽減
- 微動機構を用いたスライダの超精密定速送り技術
- 精密位置制御の研究
- 超精密位置制御に関する研究 : 粗・微動の運動制御
- 炭酸ガスレ-ザ装置用金属ミラ-のダイヤモンド切削加工
- 微小ギャップ制御機構の開発
- レ-ザビ-ムプリンタ用非球面プラスチックレンズ
- STMを用いた超精密角度センサ(第2報) : 原子頂点の追跡とヨーイング測定
- STMを用いた超精密角度センサ(第1報) : 誤差解析とピッチング測定
- 放物面鏡集光光学系を用いた大出力炭酸ガスレ-ザ溶接
- 回折格子の超精密切削-1-CNC旋盤によるグレ-ティングレンズ型の溝加工 (オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術) -- (超精密切削適用例--目的別)
- CO2レ-ザ用ミラ-の超精密切削 (オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術) -- (超精密切削適用例--目的別)
- 銅および銅合金の超精密切削 (オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術) -- (超精密切削適用例--材料別)
- オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術-4-(6)回折格子の超精密加工-グレイティングレンズ型の溝加工
- オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術-4-(5)CO2レ-ザ用ミラ-の超精密切削
- 光学部品の超精密加工
- オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術-3-(2)銅および銅合金の超精密切削
- 微細溝の超精密切削加工(超精密切削技術)
- 開発した高精度空気軸受スピンドルの特性とその応用
- DVDを支える精密技術(創立100周年記念 これからのつくる技術)