摩擦駆動を応用した光ディスク原盤露光装置用テーブル送り機構の開発

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1996-10-05

著者

• 小川 潔

  (株)東芝生産技術研究所

• 上田 勝宣

  (株)東芝 生産技術研究所

• 中野 敏行

  (株)東芝研究開発センター

• 足立 幹雄

  (株)東芝生産技術研究所

• 佐久田 茂

  (株)東芝生産技術研究所

• 高須 登

  (株)東芝生産技術研究所

• 平 浩三

  (株)東芝研究開発センター

• 上田 勝宣

  東芝 生産技研

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