佐久田 茂 | (株)東芝生産技術研究所

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概要

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• 佐久田 茂

  (株)東芝生産技術研究所

• 小川 潔

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• 上田 勝宣

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• 上田 勝宣

  東芝 生産技研

• トーミ カマル・ヨセフ

  Mit Laboratory For Manufacturing And Productivity

• 足立 幹雄

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• 中野 敏行

  (株)東芝研究開発センター

• 高須 登

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• 平 浩三

  (株)東芝研究開発センター

• 清野 武寿

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• 五十嵐 健二

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• 佐久田 茂

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• 大野 元治

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• 大野 元治

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著作論文

• 摩擦駆動を応用した光ディスク原盤露光装置用テーブル送り機構の開発
• 超精密位置制御に関する研究(第2報) : 粗・微動間の干渉の軽減
• 精密位置制御の研究
• 超精密位置制御に関する研究 : 粗・微動の運動制御
• 微小ギャップ制御機構の開発
• STMを用いた超精密角度センサ(第2報) : 原子頂点の追跡とヨーイング測定
• STMを用いた超精密角度センサ(第1報) : 誤差解析とピッチング測定

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