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トーミ カマル・ヨセフ | Mit Laboratory For Manufacturing And Productivity
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概要
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関連著者
トーミ カマル・ヨセフ
Mit Laboratory For Manufacturing And Productivity
佐久田 茂
(株)東芝生産技術研究所
著作論文
STMを用いた超精密角度センサ(第2報) : 原子頂点の追跡とヨーイング測定
STMを用いた超精密角度センサ(第1報) : 誤差解析とピッチング測定
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