STMを用いた超精密角度センサ(第1報) : 誤差解析とピッチング測定

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1996-03-05

著者

• トーミ カマル・ヨセフ

  Mit Laboratory For Manufacturing And Productivity

• 佐久田 茂

  (株)東芝生産技術研究所

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