微小ギャップ制御機構の開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1996-03-01

著者

• 佐久田 茂

  (株)東芝生産技術研究所

• 清野 武寿

  (株) 東芝 生産技術研究所

• 五十嵐 健二

  (株) 東芝 生産技術研究所

• 佐久田 茂

  (株) 東芝 生産技術研究所

• 大野 元治

  (株) 東芝 生産技術研究所

• 大野 元治

  東芝 生技研

関連論文

• 摩擦駆動を応用した光ディスク原盤露光装置用テーブル送り機構の開発
• 超精密位置制御に関する研究(第2報) : 粗・微動間の干渉の軽減
• 精密位置制御の研究
• 超精密位置制御に関する研究 : 粗・微動の運動制御
• 磁気ガイドされる浮上物体の振動 : 浮上物体の上下動に起因する分数形係数励振振動
• 微小ギャップ制御機構の開発
• 走査型エキシマレーザ転写技術の開発
• STMを用いた超精密角度センサ(第2報) : 原子頂点の追跡とヨーイング測定
• STMを用いた超精密角度センサ(第1報) : 誤差解析とピッチング測定
• 精密切削によるブレーズ化された自由曲線回折格子の製作

スポンサーリンク