角度依存X線光電子分光法および原子間力顕微鏡による高濃度リン添加シリコン表面の初期酸化の評価
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概要
著者
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棚橋 克人
大阪府立大学先端科学研究所
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上浦 良友
大阪府立大学総合教育研究機構
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楊 偉毅
School Of Electronic Engineering & Optoelectronic Technology Nanjing University Of Science &
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溝川 悠介
大阪府立大学総合教育研究機構
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濱田 利和
大阪府立大学総合科学部
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応 文標
大阪府立大学総合科学部
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応 文標
上海応用技術学院数理教学部
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飯田 眞喜男
株式会社デンソー
-
川本 和則
株式会社デンソー
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飯田 真喜男
株式会社デンソー
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棚橋 克人
大阪府立大学総合科学部
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棚橋 克人
大阪府立大学先端科学研研所
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