蓮 達弘 | 金沢大学大学院 自然科学研究科

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概要

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関連著者

• 蓮 達弘

  金沢大学大学院 自然科学研究科

• 佐々木 公洋

  金沢大学自然科学研究科

• 畑 朋延

  独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ石川

• 佐々木 健次

  金沢大学工学部

• 佐々木 公洋

  金沢大学大学院自然科学研究科

• 佐々木 公洋

  金沢大学大学院 自然科学研究科

• 畑 朋延

  金沢大学大学院 自然科学研究科

• 佐々木 公洋

  金沢大学工学部

• 畑 朋延

  金沢大学工学部

• 畑 朋延

  自然科学研究科

• 蓮 達弘

  自然科学研究科

• 蓮 達弘

  金沢大学工学部/自然科学研究科

• 和泉 亮

  北陸先端科学技術大学院大学

• 河合 賢太郎

  金沢大学大学院 自然科学研究科

• 文珠 康真

  金沢大学大学院 自然科学研究科

• 佐々木 健次

  金沢大学大学院自然科学研究科

• 河合 賢太郎

  金沢大学大学院自然科学研究科

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著作論文

• 制限反応スパッタ法によるZrO_2の成長とゲート絶縁膜特性
• 反応性スパッタ法を用いたゲート絶縁膜用ZrO_2系薄膜の金属モード成長
• 反応性スパッタ法を用いたゲート絶縁膜用ZrO_2系薄膜の金属モード成長
• 金属/酸化物モードによるゲート絶縁膜用YSZ超薄膜の形成
• 反応性スパッタ法を用いたゲート絶縁膜用ZrO2系薄膜の金属モード成長

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