田中 洋毅 | (株)東芝 研究開発センター

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概要

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  半導体MIRAI-ASET

• 富田 充裕

  (株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

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• 田中 洋毅

  (株)東芝 研究開発センター

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著作論文

• 絶縁膜の結合状態、誘電特性評価法としてのTEM-EELSのポテンシャル(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)

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