西澤 正泰 | 産業技術総合研
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概要
関連著者
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西澤 正泰
産業技術総合研
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西澤 正泰
半導体MIRAI産業技術総合研究所次世代半導体研究センター
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西澤 正泰
産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター
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多田 哲也
産業技術総合研究所
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筑波大学
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有本 宏
産業技術総合研究所
著作論文
- 原子的に平坦化されたSi(111)表面へのCuナノ細線の形成と原子間力顕微鏡およびフーリエ変換赤外分光法による評価
- STMによるキャリア分布測定のデバイスシミュレーション(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- STMによるキャリア分布測定のデバイスシミュレーション