小谷 泰実 | 関西大学大学院工学研究科ハイテクリサーチセンター
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概要
関連著者
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小谷 泰実
関西大学大学院工学研究科ハイテクリサーチセンター
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大村 泰久
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著作論文
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- 急速酸化法を用いたシリコン表面における分圧酸化の機構の検討 : Silicon fragmentモデルによる解釈