栗原 健二 | Ntt Lsi研

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概要

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関連著者

• 栗原 健二

  Ntt Lsi研

• 村瀬 克実

  NTT物性科学基礎研究所

• 永瀬 雅夫

  Ntt物性科学基礎研究所

• 生津 英夫

  日本電信電話株式会社 NTT物性科学基礎研究所

• 栗原 健二

  NTTアドバンステクノロジ株式会社

• 村瀬 克実

  NTT LSI研究所

• 永瀬 雅夫

  NTT LSI研究所

• 生津 英夫

  NTT LSI研究所

• 栗原 健二

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• 永瀬 雅夫

  Ntt 物性科学基礎研

• 生津 英夫

  Ntt 物性科学基礎研

• 岩立 和己

  Ntt Lsi研究所

• 石山 俊彦

  Ntt Lsi研究所

• 高橋 庸夫

  NTT LSI研究所

• 牧野 孝裕

  NTT LSI研究所

• 高橋 庸夫

  北海道大学情報科学研究科

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著作論文

• Siナノデバイスにおける構造サイズ揺らぎの定量評価
• ECRプラズマ酸化によるナノパタン反転法とSi量子細線加工
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• X線縮小投影露光光学系の設計 (放射光応用技術)

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