X線縮小投影露光光学系の設計 (放射光応用技術<特集>)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電気通信協会の論文

著者

• 栗原 健二

  Ntt Lsi研

関連論文

• Siナノデバイスにおける構造サイズ揺らぎの定量評価
• ECRプラズマ酸化によるナノパタン反転法とSi量子細線加工
• ECRプラズマ酸化によるナノパタン反転法とSi量子細線加工
• X線縮小投影露光光学系の設計 (放射光応用技術)

スポンサーリンク