古谷 晃 | NEC

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概要

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• 同名の論文著者
• NECの論文著者

関連著者

• 田上 政由

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 小野寺 貴弘

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 林 喜宏

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 林 喜宏

  NECシステムデバイス研究所

• 廣井 政幸

  NECエレクトロニクス株式会社

• 林 喜宏

  NEC シリコンシステム研究所

• 林 喜宏

  半導体MIRAI-ASET

• 林 喜宏

  マイクロエレクトロニクス研究所

• 田上 政由

  NEC Electronics Corporation

• 林 喜宏

  Necエレクトロニクス Lsi基礎開研

• 田上 政由

  Necエレクトロニクス株式会社lsi基礎開発研究所

• 古谷 晃

  NEC

• 林 喜宏

  Necエレクトロニクス株式会社 Lsi基礎開発研究所

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著作論文

• パワースイングスパッタ法を用いたMOCVD-Cu配線用TaN膜の評価

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