一森 高示 | 沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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概要
関連著者
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一森 高示
沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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平下 紀夫
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
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平下 紀夫
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沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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高屋 浩二
沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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五十嵐 泰史
沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部
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猪股 大介
沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部
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長田 昌也
ソニー(株)セミコンダクターネツトワークカンパニー,テクノロジー開発本部
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ソニー(株)セミコンダクターネツトワークカンパニー,テクノロジー開発本部
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ソニー(株)セミコンダクターネツトワークカンパニー,テクノロジー開発本部
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沖電気工業
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ソニー(株)セミコンダクターネツトワークカンパニー テクノロジー開発本部
著作論文
- MO-CVDによるSrBi_2Ta_2O_9薄膜を用いた0.25μm級FeRAM用スタックキャパシタの開発
- SBT膜と新構造スタックセルを用いた4Mb FeRAM(デバイス/回路動作 : 強誘電体薄膜とデバイス応用)
- 水素イオンのチャネリングによる微細コンタクトホール底の欠陥
- ソース・ドレインの全層シリサイド化によるFD SOI MOSFETの高性能化
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