小林 一雄 | 岡本工作機械製作所

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概要

• 同名の論文著者
• 岡本工作機械製作所の論文著者

関連著者

• 小林 一雄

  株式会社 岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

  岡本工作機械製作所

• 左光 大和

  (株)岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

  (株)岡本工作機械製作所

• 山本 栄一

  (株)岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

  株式会社岡本工作機械製作所

• 左光 大和

  株式会社岡本工作機械製作所

• 田中 潔

  (株)岡本工作機械製作所

• 佐々木 直樹

  (株)岡本工作機械製作所

• 小野寺 貴弘

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 林 喜宏

  NECシステムデバイス研究所

• 小野寺 貴弘

  日本電気株式会社システムデバイス研究所

• 林 喜宏

  日本電気株式会社システムデバイス研究所

• 栗野 元一郎

  (株)岡本工作機械製作所

• 関田 三郎

  株式会社岡本工作機械製作所

• 徳川 喜忠

  株式会社岡本工作機械製作所

• 林 喜宏

  半導体MIRAI-ASET

• 林 喜宏

  マイクロエレクトロニクス研究所

• 林 喜宏

  日本電気株式会社

• 林 喜宏

  Necエレクトロニクス株式会社 Lsi基礎開発研究所

• 谷 泰弘

  東京大学生産技術研究所

• 粟野 元一郎

  (株)岡本工作機械製作所

• 児玉 光測

  (株)岡本工作機械製作所

• 佐伯 達彦

  東京大学大学院

• 佐藤 良幸

  新日産ダイヤモンド工業(株)

• 伊東 利洋

  株式会社岡本工作機械製作所

• 小此木 弘孝

  株式会社岡本工作機械製作所

• 柏 守幸

  株式会社岡本工作機械製作所

• 吉田 元夫

  株式会社岡本工作機械製作所

• 丹野 好男

  株式会社岡本工作機械製作所

• 喜田 浩章

  株式会社岡本工作機械製作所

• 中原 司

  株式会社岡本工作機械製作所

• 戸田 聡

  株式会社岡本工作機械製作所

• 佐藤 良幸

  新日産ダイヤ

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著作論文

• インテリジェントCMP(PNX200 : PASCAL)の開発 第3報 装置の基本特性
• インテリジェントCMP(PNX200 : PASCAL)の開発 第2報 基本構成
• インテリジェントCMP(PNX200 : PASCAL)の開発 第1報 基本概念
• インテリジェントCMPの開発〔含 英文〕 (新しい地球環境と豊かなネットワーク社会を生み出す半導体技術) -- (セッション4 多層配線/エッチング--Cu/Low-k実用化が進む中での多層配線/エッチング技術動向)
• 超微細砥粒の電気泳動現象を利用したシリコンウェーハのインフィード研削
• 全自動精密研削装置(GNX200)の開発
• 大口径シリコンウェハ用平面研削盤「GRIND-X:SVG-201D」 (特集 研削・研磨の最新技術を見る) -- (第2部 ハイレベル加工を実現する研削盤・研磨盤)
• 全自動精密ポリシング(CMP)装置の開発
• 大口径ウェーハ(12インチ)超精密研削盤の開発
• 大口径ウェーハ(12インチ)超精密研削盤の開発
• 全自動高精度高能率CMP装置の開発

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