左光 大和 | 株式会社岡本工作機械製作所

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概要

• 同名の論文著者
• 株式会社岡本工作機械製作所の論文著者

関連著者

• 左光 大和

  株式会社岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

  株式会社 岡本工作機械製作所

• 左光 大和

  (株)岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

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• 小林 一雄

  岡本工作機械製作所

• 関田 三郎

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• 徳川 喜忠

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• 小林 一雄

  (株)岡本工作機械製作所

• 伊東 利洋

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• 小此木 弘孝

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• 柏 守幸

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• 吉田 元夫

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• 丹野 好男

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• 喜田 浩章

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• 中原 司

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• 戸田 聡

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著作論文

• 全自動精密研削装置(GNX200)の開発
• 全自動精密ポリシング(CMP)装置の開発
• 大口径ウェーハ(12インチ)超精密研削盤の開発
• 大口径ウェーハ(12インチ)超精密研削盤の開発
• Siウエハポリシング面のAFMによるあらさの評価(第12報) コンタミネーションの評価

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