山本 栄一 | (株)岡本工作機械製作所

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概要

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関連著者

• 左光 大和

  (株)岡本工作機械製作所

• 山本 栄一

  (株)岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

  株式会社 岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

  岡本工作機械製作所

• 小林 一雄

  (株)岡本工作機械製作所

• 田中 潔

  (株)岡本工作機械製作所

• 佐々木 直樹

  (株)岡本工作機械製作所

• 小野寺 貴弘

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 林 喜宏

  NECシステムデバイス研究所

• 小野寺 貴弘

  日本電気株式会社システムデバイス研究所

• 林 喜宏

  日本電気株式会社システムデバイス研究所

• 栗野 元一郎

  (株)岡本工作機械製作所

• 林 喜宏

  半導体MIRAI-ASET

• 林 喜宏

  マイクロエレクトロニクス研究所

• 林 喜宏

  日本電気株式会社

• 林 喜宏

  Necエレクトロニクス株式会社 Lsi基礎開発研究所

• 粟野 元一郎

  (株)岡本工作機械製作所

• 児玉 光測

  (株)岡本工作機械製作所

• 山本 栄一

  NTT EL研

• 左光 大和

  岡本工作機械

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著作論文

• インテリジェントCMP(PNX200 : PASCAL)の開発 第3報 装置の基本特性
• インテリジェントCMP(PNX200 : PASCAL)の開発 第2報 基本構成
• インテリジェントCMP(PNX200 : PASCAL)の開発 第1報 基本概念
• インテリジェントCMPの開発〔含 英文〕 (新しい地球環境と豊かなネットワーク社会を生み出す半導体技術) -- (セッション4 多層配線/エッチング--Cu/Low-k実用化が進む中での多層配線/エッチング技術動向)
• 高移動速度ロータ型CMP装置の試作と基本特性

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