高木 裕治 | (株)日立製作所生産技術研究所
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概要
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高木 裕治
(株)日立製作所生産技術研究所
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(株)日立製作所 横浜研究所
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著作論文
- テスト特徴法に基づく逐次パタン学習と欠陥画像分類への応用
- テスト特徴法に基づく逐次パタン学習
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- 点群分布パターン識別に基づく欠陥分類技術
- 欠陥点サンプリング技術を利用した外観検査手法
- 点群分布形状の識別手法に関する検討
- 欠陥分布パターン照合に基づく問題工程特定技術(DIA推薦論文)
- 第7回小田原賞受賞 欠陥点サンプリング技術を利用した外観検査手法 (特集2 優れた画像処理研究に触れる)
- 立体形状の高速認識方式
- トップダウンSEM像を用いたレジストパタン膜厚管理
- 画像計測による製造プロセスパラメータ推定法の検討
- D-11-130 半導体製造工程でのSEM計測画像によるコンタクトホールの形状評価手法(D-11.画像工学D)
- Test Feature Classifier による逐次パタン分類とその時系列認識問題への応用(一般セッション(2))(ユビキタスコンピューティングのためのパターン認識・メディア理解,一般)
- 欠陥分布パターン識別手法の検討 (第6回 知能メカトロニクスワークショップ--人間を支援するメカトロニクス技術) -- (特別セッション 検査の知能化/生産システム)