宮本 敦 | 日立製作所 生産技術研究所

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概要

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関連著者

• 宮本 敦

  日立製作所生産技術研究所

• 宮本 敦

  日立製作所 生産技術研究所

• 金子 俊一

  北海道大学

• 五十嵐 悟

  北海道大学工学部

• 五十嵐 悟

  北大・工

• 五十嵐 悟

  北海道大学

• 前 孝宏

  北海道大学大学院工学研究科

• 前 孝宏

  北海道大学大学院

• 諸熊 秀俊

  日立ハイテクノロジーズ

• 流郷 達人

  北海道大学大学院工学研究科

• 高木 裕治

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 亀和田 俊一

  (株)レアックス

• 亀和田 俊一

  レアックス

• 高木 裕治

  日立製作所生産技術研究所

• 田中 麻紀

  日立製作所生産技術研究所

• 瀬戸口 勝美

  日立ハイテクノロジーズ

• 宍戸 千絵

  日立製作所 生産技術研究所

• 長友 渉

  日立製作所生産技術研究所

• 中垣 亮

  日立製作所生産技術研究所

• 橋本 進

  オリンパス光学工業

• 宍戸 千絵

  日立製作所生産技術研究所

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著作論文

• 測長SEMにおけるビームチルト角キャリブレーション技術の開発
• トップダウンSEM像を用いたレジストパタン膜厚管理
• 標本化順位相関に基づくロバスト画像照合
• 相関拘束条件に基づく画像照合の高速アルゴリズム
• 推定相関に基づく高速画像検索法
• 方向ヒストグラムの自己回帰モデルに基づく回転不変画像照合
• 相関の区間推定に基づく高効率画像探索
• 相関の区間推定に基づく高効率画像探索
• 順位相関に基づくロバスト画像照合法とその地下透水係数推定への応用
• 相関の区間推定に基づく高効率画像探索

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