芝野 照夫 | 三菱電機(株)先端技術総合研究所
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概要
関連著者
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芝野 照夫
三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部
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芝野 照夫
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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黒岩 丈晴
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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黒岩 丈晴
三菱電機(株)
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三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部
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三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部
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三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部
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土本 淳一
ルネサス テクノロジ
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土本 淳一
ルネサステクノロジ(株)プロセス開発部
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上原 康
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
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土本 淳一
(株)ルネサステクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部、プロセス開発部
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上原 康
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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上原 康
三菱電機(株)
著作論文
- 高誘電率材料(Ba,Sr)TiO_3を用いた1G DRAM対応キャパシタ技術
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