結城 昭正 | 三菱電機

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• 結城 昭正

  三菱電機

• 結城 昭正

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 川原 孝昭

  三菱電機

• 山向 幹雄

  三菱電機

• 斧 高一

  三菱電機

• 結城 昭正

  三菱電機 先端技総研

• 結城 昭正

  三菱電機(株)先端技術総合研究所開発戦略グループ

• 川原 孝昭

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 山向 幹雄

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 斧 高一

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 結城 昭正

  三菱電機(株)

• 黒岩 丈晴

  三菱電機株式会社 先端技術総合研究所

• 黒岩 丈晴

  三菱電機(株)

• 黒岩 丈晴

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 堀川 剛

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 芝野 照夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 蒔田 哲郎

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 大森 達夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 三上 登

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 大森 達夫

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 川原 孝昭

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 堀川 剛

  三菱電機(株)

• 蒔田 哲郎

  三菱電機(株)京都製作所

• 芝野 照夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 三上 登

  三菱電機(株)

• 山向 幹雄

  三菱電機 先端技術総合研究所

• 結城 昭正

  三菱電機 先端技術総合研究所

• 斧 高一

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• 堀川 剛

  三菱電機 先端技総研

• 森田 訓子

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• 橘 邦英

  京都大学

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  京都工芸繊維大学

• 川原 孝昭

  三菱電機 先端技総研

• 橘 邦英

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 星之内 進

  三菱電機(株)

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• 川原 孝昭

  三菱電機 (株) 中央研究所

• 結城 昭正

  三菱電機 (株) 中央研究所

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著作論文

• 高誘電率材料(Ba,Sr)TiO_3を用いた1G DRAM対応キャパシタ技術
• 高誘電率材料(Ba,Sr)TiO_3を用いた1G DRAM対応キャパシタ技術
• 溶液気化CVD法による(Ba, Sr)TiO_3高誘電率薄膜形成
• 溶液気化CVD法による(Ba,Sr)TiO_3高誘電率薄膜の形成技術
• 光CVDのプロセスモデリングと薄膜形成への応用 (フォーラム「膜形成プロセスとその応用」)

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