上原 康 | 三菱電機(株)

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概要

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関連著者

• 上原 康

  三菱電機(株)材料デバイス研究所

• 上原 康

  三菱電機(株)

• 後藤 昭弘

  三菱電機(株)名古屋製作所

• 秋吉 雅夫

  三菱電機

• 毛利 尚武

  東京大学大学院工学研究科

• 秋吉 雅夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 毛利 尚武

  東京大学

• 上原 康

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 上原 康

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 毛呂 俊夫

  三菱電機(株)

• 上原 康

  三菱電機 先端総研

• 毛呂 俊夫

  三菱電機

• 後藤 昭弘

  三菱電機 名古屋製作所

• 蔵田 哲之

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 毛利 尚武

  豊田工業大学

• 角田 誠

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 渕上 宏幸

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 中尾 之泰

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 蔵田 哲之

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 谷村 佐知子

  三菱電機(株)

• 河瀬 和雅

  三菱電機(株)先端総研

• 土本 淳一

  (株)ルネサステクノロジ

• 芝野 照夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 土本 淳一

  ルネサス テクノロジ

• 土本 淳一

  ルネサステクノロジ(株)プロセス開発部

• 松川 公映

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 芝野 照夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 土本 淳一

  (株)ルネサステクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部、プロセス開発部

• 上原 康

  三菱電機先端総研

• 斎藤 長男

  三菱電機(株)

• 加藤木 英隆

  三菱電機

• 齋藤 長男

  S・n技術研

• 毛呂 俊夫

  Mitsubishi Electric Europe B.v.

• 毛呂 俊夫

  Mitsubishi Electic Corporation

• 後藤 昭弘

  三菱電機(株)

• 毛利 尚武

  東京大学大学院

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著作論文

• 分子線およびレーザー照射による光化学反応性分子膜の作製
• HfSiO_x薄膜のXAFSによる局所構造解析(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)
• 放電表面処理における電流パルス形状の検討
• 放電表面改質膜の結晶構造に関する研究
• 115 放電表面処理における電流パルス形状の検討
• 表面改質放電加工による被膜構造の研究
• 放射光を用いた電子デバイス用金属化合物の状態分析

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