土本 淳一 | ルネサステクノロジ(株)プロセス開発部

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概要

• 同名の論文著者
• ルネサステクノロジ(株)プロセス開発部の論文著者

関連著者

• 上原 康

  三菱電機(株)材料デバイス研究所

• 河瀬 和雅

  三菱電機(株)先端総研

• 土本 淳一

  (株)ルネサステクノロジ

• 芝野 照夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 土本 淳一

  ルネサス テクノロジ

• 土本 淳一

  ルネサステクノロジ(株)プロセス開発部

• 上原 康

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 芝野 照夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 土本 淳一

  (株)ルネサステクノロジ、生産本部、ウエハプロセス技術統括部、プロセス開発部

• 上原 康

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 上原 康

  三菱電機(株)

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著作論文

• HfSiO_x薄膜のXAFSによる局所構造解析(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)

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